下载柔性面板承载装置及承载方法的技术资料

文档序号:16217833

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本发明提供一种柔性基板的承载装置及承载方法,承载装置包含承载平台及吸附装置,吸附装置包含吸附件和该吸附件的调节机构,吸附件一端设置吸嘴,另一端与调节机构连接;承载平台用于承载柔性基板,其周边设置复数个通孔,吸附件设置于通孔中;调节机构用于调...
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