下载一种光栅尺的误差补偿系统及方法的技术资料

文档序号:16214547

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本发明公开了一种光栅尺的误差补偿系统及方法,其中光栅尺的误差补偿系统包括底座、气浮滑动装置和激光干扰仪,底座包括第一平台、第二平台和第三平台,第二平台的顶面设有光栅尺;气浮滑动装置包括半包围滑块和气浮块,半包围滑块的顶面设有光栅尺读数头;激...
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