下载基于消偏振分光棱镜的同步相移干涉测量装置的技术资料

文档序号:16214535

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本发明涉及一种基于消偏振分光棱镜的同步相移干涉测量装置,属于光学干涉检测技术领域。该系统包括激光器(1)、第一透镜(2)、针孔滤波器(3)、第二透镜(4)、偏振片(5)、第一消偏振分光棱镜(6)、偏振分光棱镜(7)、参考镜(8)、测试镜(9...
该专利属于哈尔滨理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨理工大学授权不得商用。

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