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基于双盘纳米天线表面等离激元增强透射的金属复合微纳结构制造技术
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下载基于双盘纳米天线表面等离激元增强透射的金属复合微纳结构的技术资料
文档序号:16193371
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本实用新型属于光学领域和微纳系统领域,具体为基于双盘纳米天线表面等离激元增强透射的金属复合微纳结构,包括底层电介质薄膜层、在底层电介质薄膜层上沉积的带有孔洞阵列结构的金属薄膜层、在孔洞中填充的电介质、金属薄膜层上沉积的电介质层、在电介质层顶...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。
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