下载一种测量薄膜导热系数的方法的技术资料

文档序号:16187046

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本发明涉及材料领域,一种测量薄膜导热系数的方法,确定待测薄膜厚度;测量薄膜对光的吸收率;将薄膜转移到衬底上;可见光源从衬底下方发射;可见光直接进入光电二极管,位移台在薄膜上方平面内匀速运动,光电二极管采集光信号,得二维照明光功率密度分布图;...
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