下载二维电容式低频振动传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:16186827

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本发明公开了一种二维电容式低频振动传感器及其制备方法,该传感器包括:第一电极板、第二电极板、第三电极板、第四电极板、基底和液滴,基底上设置有第一电极板、第二电极板、第三电极板和第四电极板,第一电极板和第二电极板组成第一组平行板电容器,第三电...
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