下载一种具有烟气式冷凝系统的真空炉装置的技术资料

文档序号:16184320

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本发明提供了一种具有烟气式冷凝系统的真空炉装置,包括燃烧系统、反应系统、冷凝系统和真空系统,其中,所述燃烧系统包括燃烧室和蓄热室,所述蓄热室与所述燃烧室相连;所述反应系统包括反应室和AlCl3升华罐,所述反应室的周围环绕布置有所述燃烧室,所...
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