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本申请公开一种包括紧凑曲线光栅（CCG）及其相关联的紧凑曲线光栅光谱仪（CCGS）或紧凑曲线光栅波长复用器/解复用器（WMDM）模块的系统以及一种用于制造所述系统的方法。所述系统能够获得极小（分辨率对比尺寸）RS因数。可以调节入射狭缝和检测...该专利属于电子光子集成电路股份有限公司;何盛章;黄莹彦所有，仅供学习研究参考，未经过电子光子集成电路股份有限公司;何盛章;黄莹彦授权不得商用。