下载具有旋转镜和圆环目标的灯塔扫描仪的技术资料

文档序号:16178679

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本发明公开了适于应用激光烧蚀进行涂覆工艺的扫描装置和方法。该装置适合于长期使用的工业工艺。该装置包括环形形式的目标(15)。激光束方向(12)由沿着环形目标(15)的中心轴设置的旋转镜(13)控制。在镜(13)旋转时,扫描线沿着内部目标表面...
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