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本发明公开了一种空气纳米间隙电极的制备方法，包括单晶硅片的处理、切割用纳米电极样品模块的制备、纳米切割制备纳米电极、间隔层的刻蚀；本发明的制备方法操作简单、可控性强、适合大规模的生产，能够在短时间制得大量纳米电极，并且具备大面积制备的能力。...
该专利属于盐城师范学院所有，仅供学习研究参考，未经过盐城师范学院授权不得商用。

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