下载高容差光栅读数头的技术资料

文档序号:16173790

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本发明公开了一种高容差光栅读数头,包括:指示光栅、反射式主光栅和成像面,入射光照射到反射式主光栅上,在每条线纹反光处发生衍射现象,衍射光与入射光在指示光栅后方的Talbot平面处发生干涉成像得到Talbot成像面,由半导体感光元件接收到信号...
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