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基于三维拼接的大口径干涉测量系统和算法技术方案
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文档序号:16173670
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本发明公开了一种基于三维拼接的大口径干涉测量系统,采用迈克尔逊干涉系统并搭配超长工作距离的物镜和相机,其特征在于:利用步进电机实现干涉信号自动查找,压电陶瓷实现信号扫描,计算机对采集到的图像进行分析并实现测量,单个视场测量完成后,系统控制X...
该专利属于杭州齐跃科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州齐跃科技有限公司授权不得商用。
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