下载基于三维拼接的大口径干涉测量系统和算法的技术资料

文档序号:16173670

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本发明公开了一种基于三维拼接的大口径干涉测量系统,采用迈克尔逊干涉系统并搭配超长工作距离的物镜和相机,其特征在于:利用步进电机实现干涉信号自动查找,压电陶瓷实现信号扫描,计算机对采集到的图像进行分析并实现测量,单个视场测量完成后,系统控制X...
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