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本发明公开一种物品表面形貌检测方法：①低相干光线从三端环形器的端口1射进，从端口2射出，经第一透镜准直后从x‑y扫描振镜中的x振镜射入，y振镜射出；③射出的光线经第二透镜聚焦后经过一分光片被分为两部分光线，一部分从玻璃底面反射，作为参考光，...
该专利属于佛山科学技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过佛山科学技术学院授权不得商用。

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