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本发明公开了一种硅烷排粉尘清理装置，包括燃烧桶、后期处理塔，燃烧桶与后期处理塔通过管路连接；燃烧桶的侧面设置有进料口，顶部设置有出料口；后期处理塔包括桶体、后期燃烧室、喷淋装置、填料、水箱，桶体内上部的一侧设置有后期燃烧室，后期燃烧室的侧面...
该专利属于昊诚光电（太仓）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昊诚光电（太仓）有限公司授权不得商用。

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