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基于弧形源场板的垂直结构电力电子器件制造技术
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下载基于弧形源场板的垂直结构电力电子器件的技术资料
文档序号:16155516
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本发明公开了一种基于弧形源场板的垂直结构电力电子器件,其包括:衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、左、右两个对称的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)和钝化层(12),沟道层(6)和势垒层(7)的两侧刻蚀有源槽(8),两侧源槽(...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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