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倒装芯片键合装置及其键合方法制造方法及图纸
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下载倒装芯片键合装置及其键合方法的技术资料
文档序号:16155448
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在本发明提供的倒装芯片键合装置及其键合方法中,通过片叉逐个吸附芯片,并利用转接载板临时放置片叉上的芯片,而后将转接载板上的芯片一次性键合到基底上,实现了芯片的批量键合,有效地提高了倒装芯片键合工艺的效率。...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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