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本发明提供一种铝蚀刻液中铝离子含量的测试方法,采用自动电位滴定仪自动滴定,首先利用EDTA‑Na2和铝离子络合反应,取过量的EDTA‑Na2溶液将铝蚀刻液样品中的铝离子完全络合,然后再用硫酸铜标准液返滴定过量的EDTA‑Na2,利用滴定终点...该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种铝蚀刻液中铝离子含量的测试方法,采用自动电位滴定仪自动滴定,首先利用EDTA‑Na2和铝离子络合反应,取过量的EDTA‑Na2溶液将铝蚀刻液样品中的铝离子完全络合,然后再用硫酸铜标准液返滴定过量的EDTA‑Na2,利用滴定终点...