下载EML设备上实现位置和角度定位的装置的技术资料

文档序号:16131041

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本发明公开了一种EML设备上实现位置和角度定位的装置,包括底座以及设置在底座上用于放置垫片的凸台,所述凸台上表面设置有用于吸住垫片的凸台孔,所述凸台孔连通一负压接口,所述凸台周边设置有第一气缸、第二气缸和第三气缸,所述第一气缸的活塞上固定有...
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