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本发明公开了一种精确测量超大曲率半径的装置及方法，该装置包括：被测元件、光源；分光镜，倾斜置于被测元件与光源之间，用于将光源发出的光照射到被测元件表面，将被测元件反射的反射光反射到第一光栅和第二光栅上；第一光栅与第二光栅；用于在反射平行光的...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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