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本发明公开了99.6％Al2O3陶瓷基片减薄方法及由该方法制得的陶瓷基片以及包含该陶瓷基片的电子元器件。本发明方法具有加工效率高、厚度精度高、精度重复性好、加工表面质量高等优点，本发明方法可实现陶瓷基片大批量自动化生产，且对于实际生产具有重...
该专利属于中国振华集团云科电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国振华集团云科电子有限公司授权不得商用。

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