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本发明涉及一种激光划片装置，其能够在使用激光束切割脆性材料基板的时候容易地改变激光束的焦距。本发明提供了一种激光划片装置，其用于通过向基板发射激光束来在基板上执行划片操作，该激光划片装置包括：激光源，其产生激光束；以及激光发射单元，其接收来...
该专利属于塔工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过塔工程有限公司授权不得商用。

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