下载激光照射装置及方法的技术资料

文档序号:16113790

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本发明公开一种激光照射装置及方法。具体而言,根据本发明的实施例的激光照射装置及方法包括:光束生成部,用于生成激光束;扫描镜部,用于调节从所述光束生成部传递的所述激光束的方向;旋转镜,将通过所述扫描镜部而方向得到调节的所述激光束反射,所述旋转...
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