下载掠入射荧光X射线分析装置和方法的技术资料

文档序号:16111878

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本发明的掠入射荧光X射线分析装置(1)包括:X射线源(2);弯曲分光元件(4),该弯曲分光元件(4)对从X射线源(2)所放射的X射线(3)进行分光,形成汇聚于试样(S)的表面的一定位置(15)的X射线束(5);狭缝(6),该狭缝(6)设置于...
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