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用于制造单晶硅锭的方法、以及通过该制备方法制备的单晶硅锭技术
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下载用于制造单晶硅锭的方法、以及通过该制备方法制备的单晶硅锭的技术资料
文档序号:16110766
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实施方式提供用于通过使用单晶硅生长装置制备单晶硅锭的方法,所述装置包括:腔室;设置在所述腔室内并容纳熔融硅液的坩埚;设置在坩埚外以加热坩埚的加热器;设置在所述腔室内的热屏蔽部件;以及用于牵拉由熔融硅液生长的单晶的牵拉部件,其中,所述方法可以...
该专利属于LG矽得荣株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过LG矽得荣株式会社授权不得商用。
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