下载磁感应器件及制造方法的技术资料

文档序号:16103974

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本发明提供的磁感应器件包括:衬底、第一金属层以及第一介质层,所述衬底的第一表面开设有凹槽,所述第一金属层设置于所述凹槽内,所述第一金属层的表面低于所述第一表面,所述第一金属层的表面与所述第一表面构成第一凹陷部,所述第一介质层设置于所述衬底的...
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