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封装基板的线路制作方法技术
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文档序号:16103833
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本发明公开了一种封装基板的线路制作方法,其包含在基底上形成光阻层,光阻层具有至少一个线路槽;形成导电材料,填满线路槽;进行平坦化工艺,以移除部分的光阻层以及导电材料露出于线路槽外的部分;移除光阻层;以及进行快速蚀刻工艺,以蚀刻导电材料的表面...
该专利属于欣兴电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过欣兴电子股份有限公司授权不得商用。
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