下载封装基板的线路制作方法的技术资料

文档序号:16103833

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本发明公开了一种封装基板的线路制作方法,其包含在基底上形成光阻层,光阻层具有至少一个线路槽;形成导电材料,填满线路槽;进行平坦化工艺,以移除部分的光阻层以及导电材料露出于线路槽外的部分;移除光阻层;以及进行快速蚀刻工艺,以蚀刻导电材料的表面...
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