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静重式微小力值标准装置用气浮轴承支撑主梁系统制造方法及图纸
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文档序号:16099654
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本发明公开了一种静重式微小力值标准装置用气浮轴承支撑主梁系统,包括:气浮轴承、主梁、配重平衡机构、平衡微调机构、间隙夹紧机构、激光位移传感器、基座;气浮轴承固定在基座上,主梁由气浮轴承提供单一自由度支撑,配重平衡机构与主梁一端连接,平衡微调...
该专利属于中国计量科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量科学研究院授权不得商用。
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