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本发明公开了一种用于测量表面瞬态温度的片状薄膜热电偶，包括片状高温陶瓷基体、薄膜热电极、薄膜绝缘层及引线，采用等离子体溅射在陶瓷基体上制备薄膜热电极，薄膜热电极之间设置热接点，即为测量端；热电极上覆盖薄膜绝缘层。本发明的片状薄膜热电偶可用于...
该专利属于北京卫星环境工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京卫星环境工程研究所授权不得商用。

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