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本发明公开了一种干涉位移测量辅助的频率分辨光学开关法测量仪,包括频率分辨光学开关法的信号光光路和红光的矫正光路，根据红光干涉信号来确定所述位移元件的位移量，从而矫正频率分辨光学开关法信号；产生红光干涉信号的过程是，矫正用的红光入射后，45°...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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