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本申请提供一种标准光源和相对辐射定标方法，所述标准光源，包括：真空系统和射频电路；真空系统包括真空腔体、真空泵和充气系统；充气系统为真空腔体内充气，真空泵为真空腔体抽气；射频电路包括射频电源和射频电极；射频电极的一部分位于真空腔体内；射频电...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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