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本发明公开了一种硅微机械石墨烯梁谐振式陀螺仪，包括玻璃衬底、传递梁、杠杆传递部分、固定质量块驱动梳齿、陀螺质量块、第一石墨烯谐振梁、第二石墨烯谐振梁和边框。采用石墨烯谐振梁作为二次敏感结构，用于间接敏感作用在传递梁上轴向应力的变化。采用石墨...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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