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本发明公开了一种多晶硅棒生长直径的测量装置,包括炉体,所述炉体的底部连接有支腿,所述炉体底部安装有液压缸,所述液压缸的输出端连接有活塞杆,所述活塞杆的一端伸入到炉体内,所述活塞杆的端部连接有升降平台,所述炉体的顶部设有检测窗,所述检测窗水平...该专利属于芜湖中科智捷信息科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过芜湖中科智捷信息科技有限责任公司授权不得商用。
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本发明公开了一种多晶硅棒生长直径的测量装置,包括炉体,所述炉体的底部连接有支腿,所述炉体底部安装有液压缸,所述液压缸的输出端连接有活塞杆,所述活塞杆的一端伸入到炉体内,所述活塞杆的端部连接有升降平台,所述炉体的顶部设有检测窗,所述检测窗水平...