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本发明提供一种溅射装置、溅射方法，属于显示面板制备技术领域，其可解决现有的溅射装置的靶材成膜的均匀性低的问题。本发明的溅射装置，包括多个用于承载靶材的靶位，所述溅射装置还包括控制单元和多个支撑单元，所述靶位位于所述支撑单元上，所述控制单元和...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司授权不得商用。