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精密移载手臂制造技术
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文档序号:16083692
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本实用新型涉及一种精密移载手臂,属于半导体生产技术领域。其包括手臂本体、补位板和紧固板;所述手臂本体的背面下方设有补位板,紧固板位于补位板的下方,手臂本体、补位板和紧固板固定连接。本实用新型结构简单,调整方便,通过螺栓的调整即可方便的实现移...
该专利属于无锡特恒科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡特恒科技有限公司授权不得商用。
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