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本发明提供了一种薄膜电阻热处理工艺方法与制造工艺方法，涉及电子元件领域。该薄膜电阻热处理工艺方法与制造工艺方法通过利用热处理箱对薄膜电阻加热至第一温度点，维持第一温度点预设定的加热时间；然后在预设定的加热时间后，采用至少一个第二温度点对薄膜...
该专利属于中国振华集团云科电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国振华集团云科电子有限公司授权不得商用。

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