下载真空炉测温装置的技术资料

文档序号:16077992

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本发明公开了一种真空炉测温装置,应用于具有真空腔室的真空炉,所述真空炉测温装置包括:安装座;支架;直线驱动机构;波纹管,该波纹管的一端通过第一静密封结构固定安装在安装座上,另一端通过第二静密封结构固定安装在所述驱动端;以及热电偶,该热电偶的...
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