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一种基于楔形进给水平补偿的Z向微位移结构制造技术
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文档序号:16074492
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本实用新型公开了一种基于楔形进给水平补偿的Z向微位移结构,主要包括两套伺服电机、直线滑轨、滑动台座、滚珠丝杠、支撑座、光杆导轨和楔形块,其中一套直线滑轨固定在平台上且滑动台座与一个楔形块连接,另外一套直线滑轨固定在第一个楔形块上且直线台座与...
该专利属于河南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过河南理工大学授权不得商用。
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