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本实用新型涉及电子工业领域，公开了一种马达装置及蚀刻装置。马达装置包括：位于壳体内部马达；进气孔，位于所述壳体上并与壳体内部相通，允许气体进入壳体内部，并使得壳体内部相对于外部为正压。蚀刻装置包括如上马达装置。通过在马达电机外添加壳体，并通...该专利属于东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司授权不得商用。