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本实用新型提出一种大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源,更大程度地提高了该类型离子源的电离效率、离子传输效率,以及工作的稳定性。该大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源,在腔体轴向外围且更接近出气端口、避开直流放电电极设置有一对隔着腔体平...该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。
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本实用新型提出一种大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源,更大程度地提高了该类型离子源的电离效率、离子传输效率,以及工作的稳定性。该大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源,在腔体轴向外围且更接近出气端口、避开直流放电电极设置有一对隔着腔体平...