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本实用新型公开了一种激光薄膜刻蚀装置，装置包括：用于发射超快激光的激光器；对激光进行扩束的扩束装置；用于控制光束透过的光阑；驱动激光扫描的振镜，场镜以及工控机；其中，在所述工控机的控制下，所述激光器发射激光，激光依次经过所述扩束装置，振镜以...
该专利属于英诺激光科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英诺激光科技股份有限公司授权不得商用。

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