下载可摆动驱动的真空支持的工件夹持装置和相关联的真空夹持器的技术资料

文档序号:16055029

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在工件加工装置(1)中用于加工工件(21)的可摆动驱动的工件夹持装置(20),其中,工件夹持装置(20)具有多个在圆周处在不同平面上分布地布置的真空夹板(6,7),其可与真空夹持器(5)气密地相连接。...
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