下载在微电子中用于铜沉积的流平剂的技术资料

文档序号:16050901

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在微电子中用于电解镀敷的组合物,其含有流平剂,该流平剂包含脂族二(叔胺)与烷化剂的反应产物。使用该流平剂的电解镀敷方法,制造该流平剂的方法,和该流平剂化合物。...
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