下载用于对层序列进行结构化的方法和半导体激光器设备的技术资料

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提出一种用于对层序列进行结构化的方法以及一种半导体激光器设备。在该方法中,通过两个等离子刻蚀方法在层序列(10)中产生至少一个沟槽(4)。半导体激光器设备包括:层序列(10),所述层序列借助半导体材料形成;和层序列(10)中的两个沟槽(4)...
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