下载用于高电压集成电路电容器的方法和设备的技术资料

文档序号:16049601

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在所描述的高电压集成电路电容器的示例中,电容器结构(1000)包括半导体衬底(1010);底板(1020),其具有覆盖半导体衬底的导电层;沉积的电容器电介质层(1030),其覆盖底板(1020)的至少一部分并且在第一区中具有大于约6μm的第...
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