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一种用于使用激光束加工基板的加工头，包括：光学单元，包括用于引导所述激光束的至少一个光学元件；多个伯努利空气轴承，设置为围绕所述光学元件的光轴，并配置为喷射第一流体流，用于通过伯努利原理在所述伯努利空气轴承和所述基板之间产生引力，以便保持所...
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