下载掺杂石墨烯的电极作为用于铁电电容器的互连体的技术资料

文档序号:16049414

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描述了具有掺杂石墨烯底电极的铁电电容器和其用途。掺杂石墨烯底电极层沉积于衬底上,且铁电层沉积于掺杂石墨烯层和上电极之间。...
该专利属于沙特基础工业全球技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过沙特基础工业全球技术公司授权不得商用。

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