下载电容式力传感器的技术资料

文档序号:16048203

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本发明涉及一种电容式力传感器(1),具有基面体(2)、平面的且可弹性变形的膜片体(3)、布置于基面体和膜片体(3)之间的彼此隔开的两个隔片(4),其中膜片体(3)通过隔片(4a、4b)支撑在基面体(2)上并且膜片体(3)至少超出于一个隔片(...
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