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利用衍射光栅的三维形状测量装置制造方法及图纸
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下载利用衍射光栅的三维形状测量装置的技术资料
文档序号:16048133
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公开一种利用衍射光栅的三维形状测量装置,其包括:分光器,其安装于光源部发生的光的行进方向,使光的一部分沿第一路径反射,且使光的一部分沿第二路径透过;图像传感器,其接收沿所述第一路径行进而被具备至少一个孔(hole)的测量对象物反射的光,并测...
该专利属于株式会社高永科技所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社高永科技授权不得商用。
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