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本发明提供了一种生产晶体材料的层的方法，该晶体材料包括钙钛矿或六卤代金属酸盐，该方法包括：(i)使基板于第一腔室中暴露在含第一前体化合物的蒸气中以在基板上产生第一前体化合物的层；以及(ii)使第一前体化合物的层于第二腔室中暴露在含第二前体化...
该专利属于牛津大学科技创新有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过牛津大学科技创新有限公司授权不得商用。

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