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一种分配器包括框架、基板支撑组件和台架系统，以在x轴、y轴和z轴方向上移动分配泵。所述分配泵包括本地供给贮存器、分配喷嘴以及用于在所述本地供给贮存器与所述分配喷嘴之间提供流体连通的第一管线。所述分配器还包括耦接至分配泵的本地供给贮存器的远程...
该专利属于伊利诺斯工具制品有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过伊利诺斯工具制品有限公司授权不得商用。

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